牛津仪器等离子技术部(OIPT)—现今光电设备制造商的领导者，宣布华芯半导体Sino-semic将选择OIPT的Cobra®plasma刻蚀系统做为他们在泰州的生产制造设备。华芯半导体Sino-semic作为中国第一个VCSELs人脸识别芯片的开发商和制造商，认为牛津仪器的工艺能力和本地支持是他们决定采用高性能电感耦合等离子体(ICP)蚀刻Cobra系统的关键因素。
华芯半导体Sino-semic的副总经理李军评论：“我们之所以选择牛津仪器作为我们ICP刻蚀设备的供应商，是因为他们提供最前沿的等离子体处理系统和工艺支持，这对于我们的生产计划至关重要。”
Cobra工艺解决方案旨在支持前沿设备应用，如激光、射频、功率器件和LEDs先进制造。
“这标志着VCSEL设备进入另一个激动人心的产量增长阶段”，牛津仪器等离子技术部的董事总经理Richard Pollard说，“我们很高兴能为华芯半导体Sino-semic这样具有开创性的制造商提供VCSEL芯片解决方案。”
