场发射扫描电子显微镜

浸没式肖特基Plus场发射电子枪

电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得数 pA～数10 nA 探针电流，保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。