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近年来,已开发出从大气压到高真空,仅用一台泵就能实现的新型真空泵。但一般来说,为了获得高真空.超高真空及极高真空,还是串联多台真空泵构成机组形式来完成抽气任务的。因此,正确了解泵的工作原理.主要性能.结构特点以及分类等,对于用户选择经济适用的真空泵非常重要的。
真空泵是用以产生.改善和维持真空的装置。按期工作原理,基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
一 气体输送泵。是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气目的的真空泵。这种气体输送泵分为变容式和动量传输式两大类。
1 变容式真空泵
变容式真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气的.压缩和排气的装置。这种泵分为往复式和旋转式两种。
(1)往复式真空泵。利用泵腔内活塞的往复运动,将气体吸入.压缩并排出因此,又称它为活塞式真空泵。
(2)旋转式真空泵。利用泵腔内活塞的往复运动,将气体吸入.压缩并排出。属于此类的泵种很多。
1油封式机械泵。是利用油类密封各运动部件的间隙,减少有害空间的一种旋转式变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故称气镇式真空泵。按其结构特点分为:旋片泵.定片泵.滑阀泵.余摆线泵以及多室旋片泵等。
2无油真空泵。目前所谓的干式真空泵。一般通用的说法是:能在大气压到10负2Pa的压力范围内工作的真空泵,在泵的抽气流道(如泵腔)中,不能使用任何油类和密封液体,排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,既称为干式真空泵。按其工作原理分,也有容积式干式泵,如多级罗茨泵.多级活塞泵.爪型泵.螺杆泵.涡旋泵等;此外还有动量传输式干式泵,如涡轮干式泵.离心干式泵等。这种泵的抽气不再有油的污染了,是近期开发研制较多的泵种。
3 液环真空泵。带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当转子旋转时,把液体(水或油类)抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子上的叶片形成了容积周期性变化的几个小容积实现吸气.压缩和排气,由于液环起到压缩气体的作用,故又称它为液体活塞真空泵。