JSM-7800F电子扫描电镜

 JSM-7800F Prime电子扫描电镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式，电子显微镜达到了世界最高水准的分辨率。电子显微镜浸没式肖特基Plus电子枪，将最大探针电流从200nA提高到了500nA。JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜（SHL），由于减少了色差及球差，极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外，SHL不会对样品形成磁场影响，因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可
电子显微镜通过多个检测器获取样品的所有信息JSM-7800F配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。
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