利用原子吸收光谱法进行分析时往往会出现各种干扰，其中在原子化过程中出现的主要是化学干扰。被测元素与其他组分子在样品溶液或气相中的化学作用，影响被测元素在原子化器内化合物的形成、解离、原子化过程，从而引起被测元素原子化效率降低的效应。化学干扰也是原子吸收光谱分析的主要干扰。
产生原因：
被测元素与其他组分子生成难熔氧化物和难分解的碳化物
被测元素形成易挥发化合物引起挥发损失
被测元素与其他组分形成热力学上更稳定的化合物等。
消除方法：
由于化学干扰产生的原因的多样性，消除干扰的方法也有所针对性。常见方法有化学分离、选择和优化原子化条件、使用化学改进技术等。
选择和优化原子化条件：在火焰原子化吸收光谱法中，选用合适的火焰和优化火焰的条件。火焰温度及氧化还原特性严重影响，比如难解离化合物的分解应采用高的火焰温度，富燃火焰适宜于易形成氧化物的元素的分析，如Cr、Ba、Mo、Al等。
使用化学改进技术：使用各种化学试剂消除化学干扰。在火焰原子吸收光谱分析法中，经常用到释放剂、保护剂、缓冲剂。而在电热原子吸收光谱法中常使用化学改进剂和石墨管改性剂。
