ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 电感耦合等离子体发射光谱仪，现在的称呼。因为现在icp发射光谱技术用到了越来越多的离子线，"原子发射光谱仪"已经不是那么科学，所以现在都叫oes了。ICPOES可同时分析常量和痕量组分，无需繁复的双向观测，还能同时读出、无任何谱线缺失的全谱直读等离子体发射光谱仪,快速、线性范围宽等优点。
ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 电感耦合等离子体质谱仪，ICP-MS是一个以质谱仪作为检测器的等离子体，ICP-AES和ICP-MS的进样部分及等离子体是极其相似的。ICP-AES测量的是光学光谱（120nm～800nm），ICP-MS测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。还可测量同位素测定。尤其是其检出限给人极深刻的印象，其溶液的检出限大部份为ppt级，石墨炉AAS的检出限为亚ppb级，ICP-AES大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素也可得到亚ppb级的检出限。但由于ICP-MS的耐盐量较差，ICP-MS的检出限实际上会变差多达50倍，一些轻元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有严重的干扰，其实际检出限也很差。
