（1）空心阴极灯如长期搁置不用，会因漏气、气体吸附等原因不能正常使用，甚至不能点燃，所以每隔2-3个月应将不常用的灯点燃2-3小时，以保持灯的性能。
（2）空心阴极灯使用一段时间以后会衰老，致使发光不稳，光强减弱，噪声增大及灵敏度下降，在这种情况下，可用激活器加次激活，或者把空心阴极灯反接后在规定的最大工作电流下通电半个多小时。多数元素灯在经过激活处理后其使用性能在一定程度上得到恢复，延长灯的使用寿命。
（3）取、装元素灯时应拿灯座，不要拿灯管，以防止灯管破裂或通光窗口被沾污，导致光能量下降。如有污垢，可用脱脂棉蘸上1+3的无水乙醇和乙mi混合液轻轻擦拭以予清除。
氘灯的维护
不要在氚灯电流调节器处于很大值时开启氚灯，以免因大电流的冲击而影响使用寿命。使用氚灯切勿频繁启闭，以免影响其使用寿命。
透镜的维护
外光路的透镜，不应用手触摸，要保持清洁，透镜表面如落有灰尘，可用洗耳球吹去或用擦镜纸轻轻擦掉，千万不能用嘴去吹，以免留下口水圈。如沾有污垢，可用乙醇乙mi混合液清洗。光学零件不能用汽油等溶剂和重铬酸钾-硫酸液清洗。石墨炉原子化器，在石墨管两端的透镜易被样液污染，经常要检查清洗。
雾化燃烧系统的维护
（1）全系统的维护
分析任务完成后，应继续点火，喷入去离子水约10分钟，以清除雾化燃烧系统中的任何微量样品，溢出的溶液，特别是有机溶液滴，应予以清除，废液应及时清倒。每周应对雾化燃烧器系统清洗一次，若分析样品浓度较高，则每天分析完毕都应清洗一次。若使用有机溶液喷雾或在空气-乙炔焰中喷入高浓度的Cu、Ag、Hg盐溶液，则工作后应立即清洗，防止这些盐类可能会生成不稳定的乙炔化合物，易引起爆炸。有机溶液的清洗方法是先喷与样品互溶的有机溶液5分钟，再喷丙酮5分钟，然后再喷1%HNO3 5分钟，最后再喷去离子水5分钟。
（2）喷雾器的维护
如发现进样量过小，则可能是毛细管被堵塞，若毛细管被气泡堵塞，可把它溶液中取出，继续通压缩空气，并用手指轻弹动即可。若被溶质或其它物质堵塞，可点火喷纯溶剂，如无改善，可用软细金属丝清除。若仍然不通，则应更换毛细管。
（3）雾化室的维护
雾化室必须定期清洗，清洗时可先取下燃烧器，可用去离子水从雾化室上口灌入，让水从废液管排走。若喷过浓酸、碱溶液及含有大量有机物的试样后，应马上清洗。注意检查排液管下的水封是否有水，排液管口不要插进废液中，防止二次水封导致排液不畅
（4）燃烧器的维护
燃烧器的长缝点燃后应呈现均匀的火焰，若火焰不均匀，长时间出现明显的不规则变化---缺口或锯齿形，说明缝被碳或无机盐沉积物或溶液滴堵塞。需清除。可把火焰熄灭后，先用滤纸插入揩拭。如不起作用可吹入空气，同时用单面到刀片沿缝细心刮除，让压缩空气将刮下的沉积物吹掉，但要注意不要把缝刮伤。必要时可卸下燃烧器，拆开清洗。
石墨炉的维护
石墨炉与石墨管连接的两个端面要保护平滑，清洁，保证两者之间紧密联接。如发现石墨锥有污垢要立即清除，防止随气流进入石墨管中，做成测量误差，影响测试结果。石墨炉温度的标定：可取高纯金属丝Φ0.5nm长3-5cm插入石墨炉中按工作程序升温，从金属丝头部看是否熔融而知温度标称值与实际温度之差（见表1）
自动进样器的维护
（1）毛细管进样头的维护
如毛细管进样头变脏，可吸取20%的HNO3清洗；如果严重晚去或变形，用刀片割去损坏部分
（2）注射器和冲洗瓶的维护
经常检查注射器有无气泡，如有，则应小心清除；经常清洗冲洗瓶，保持冲洗瓶干净。
其他
经常检查Ar气、乙炔气和压缩空气的各个连接管道，保证不泄露；经常检查乙炔的压力，保证压力大于500KPa（100psi），防止丙酮挥发进入管道而损坏仪器。
