在扫描电镜 SEM 中是使用聚焦电子束扫描样品表面，获取信号并处理来获得图像。电子由灯丝产生并被高压电场加速。高压一般在 1 kV 至 30 kV 之间，典型的束流一般在纳安范围。
经过高压加速的电子与样品表面相互作用，对于不导电样品，这种相互作用可能损害样品和降解样品。该过程表现为样品表面产生的裂纹，或者是材料熔化甚至沸腾。降解速度随加速电压，观察束流和放大倍数的变化而变化。
对于那些看起来像是熔化或沸腾了的样品，你可能会认为是由于材料被电子束加热导致的。 然而实际模拟结果表明，只有对于极端案例，温度才会达到材料的熔点。在这些极端案例中，是用极大束流、极高倍数聚焦极低热导系数的样品。不过，在低束流和低放大倍数下也可以发生降解效应，只是需要的时间更久些。
