质谱仪常用的检测器有法拉第杯(Faraday Cup)、电子倍增器及闪烁计数器、照相底片等。

Faraday杯是其中最简单的一种,其结构如图21-12所示。Faraday杯与质谱仪的其他部分保持一定电位差以便捕获离子,当离子经过一个或多个抑制栅极进入杯中时,将产生电流,经转换成电压后进行放大记录。Faraday杯的优点是简单可靠,配以合适的放大器可以检测≈10-15A的离子流。但Faraday杯只适用于加速电压<1kV的质谱仪,因为更高的加速电压使产生能量较大的离子流,这样离子流轰击入口狭缝或抑制栅极时会产生大量二次电子甚至二次离子,从而影响信号检测。