电感耦合等离子体（ICP）源-液体样品，与原子发射光谱基本相同，只是须将常压下产生的离子通过接口传输到真空状态下的质量分析器。采用激光燃烧，悬浮液雾化等方法可直接进行固体样品分析。
激光诱导等离子体源-固体样品。
火花源-固体，与原子发射的区别在于需真空条件工作。
对于金属合金或离子型残渣之类的非挥发性无机试样，必须使用不同于上述离子化源的火花源。
火花源类似于发射光谱中的激发源。向一对电极施加约 30 kV脉冲射频电压，电极在高压火花作用下产生局部高热，使试样仅靠蒸发作用产生原子或简单的离子，经适当加速后进行质量分析。火花源具有一些优点：对于几乎所有元素的灵敏度较高，可达10-9；可以对极复杂样品进行元素分析，对于某个试样已经可以同时测定6O种不同元素；信息比较简单，虽然存在同位素及形成多电荷离子因素，但质谱仍然比原子发射光谱法的光谱要简单得多；一般线性响应范围都比较宽，标准核准比较容易。但由于仪器设备价格高昂，操作复杂，限制了使用范围。
