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EMS公司提供多种贵金属溅射靶材，有金靶、铂靶（白金）、钯靶、金钯合金靶60:40、铂钯合金靶80:20,纯度在99.99%以上。EMS公司靶材适合多个厂家的镀膜仪器，Emitech, Emscope, Bio-Rad, Polaron, Edwards, Balzers, Plasma Sciences, Technics Hummers, Denton, Cressington等等。提供的所有靶材均是标准厚度0.1mm，厚度在0.05－6mm之间的厚度靶材，需要特别问询。可以根据你的需求定制合适直径的靶材（4-304.8mm之间）。1.金靶和铂金靶Gold (Au) and Platinum (Pt)
| 货号 (Au) | 直径 mm | 货号 (Pt) | 直径 mm |
| 91006-Au | 20.0 | 91006-Pt | 20.0 |
| 91007-Au | 20.4 | 91007-Pt | 20.4 |
| 91008-Au | 32.0 | 91008-Pt | 32.0 |
| 91009-Au | 39.0 | 91009-Pt | 39.0 |
| 91013-Au | 42.0 | 91013-Pt | 42.0 |
| 91014-Au | 50.0 | 91014-Pt | 50.0 |
| 91015-Au | 50.8 | 91015-Pt | 50.8 |
| 91016-Au | 54.0 | 91016-Pt | 54.0 |
| 91017-Au | 57.0 | 91017-Pt | 57.0 |
| 91010 | 60.0 | 91012 | 60.0 |
| 91018-Au | 63.5 | 91018-Pt | 63.5 |
| 91019-Au | 75.0 | 91019-Pt | 75.0 |
| 91020-Au | 76.0 | 91020-Pt | 76.0 |
| 货号 (Pd) | 直径 mm | 货号（ AP60/40） | 直径 mm |
| 91006-Pd | 20.0 | 91006-AP | 20.0 |
| 91007-Pd | 20.4 | 91007-AP | 20.4 |
| 91008-Pd | 32.0 | 91008-AP | 32.0 |
| 91009-Pd | 39.0 | 91009-AP | 39.0 |
| 91013-Pd | 42.0 | 91013-AP | 42.0 |
| 91014-Pd | 50.0 | 91014-AP | 50.0 |
| 91015-Pd | 50.8 | 91015-AP | 50.8 |
| 91016-Pd | 54.0 | 91016-AP | 54.0 |
| 91017-Pd | 57.0 | 91017-AP | 57.0 |
| 91010-Pd | 60.0 | 91011 | 60.0 |
| 91018-Pd | 63.5 | 91018-AP | 63.5 |
| 91019-Pd | 75.0 | 91019-AP | 75.0 |
| 91020-Pd | 76.0 | 91020-AP | 76.0 |